设备名称：小型等离子清洗机

型号：科晶PCE-6

厂商：科晶/中国

功能：

本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备

主要参数：

电源：AC220V，50/60 Hz

输出功率：7.2W，10.2W，29.6W

真空泵功率：<500 W

总功率：<600 W

射频频率：3.0MHz，功率3挡可手动调节

等离子腔体：高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm的观察窗

真空泵：240L/min，直连式双旋真空泵

极限真空度：50mtorr

通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等

实物图：

 

 

 

正面

 

 

 

侧面