设备名称：真空旋转涂膜机

型号：科晶VTC-100

厂商：科晶/中国

功能：真空旋转涂膜机用于半导体工艺、制版及表面涂覆等工艺

主要参数：

功率：148 W

转速：500 rpm～8000rpm

时间：1s～60 s

真空泵流速：>60 L/min

实物图：

  主视图

   侧视图